FFUクリーンルームシステムにおけるナノファイバーHEPAフィルター試験

作成日 03.04

FFUクリーンルームシステムにおけるナノファイバーHEPAフィルターテスト

クリーンルーム環境におけるナノファイバーHEPAフィルターの実際の運転性能を評価するため、NanoFiltechはH14グレードフィルターを使用したオンサイトFFUろ過試験を実施しました。

本試験は、ファンフィルターユニット（FFU）システムにおいて、元のグラスファイバーHEPAフィルターを、NanoFiltech製ナノファイバーフィルターに交換して実施されました。両フィルターは1170 × 1170 × 90 mmという同一の仕様を持ち、同一の運転条件下で試験されました。

試験中に記録された主要なパラメータには、圧力損失、吹き出し風速、およびエネルギー消費量が含まれます。安定した性能データを確保するため、45日間の運転後に測定が行われました。

結果として、ナノファイバーHEPAフィルターは明確な利点をもたらしました。

初期ろ過効率100%を維持しながら、ナノファイバーフィルターはシステム抵抗とファン負荷を大幅に低減しました。

88日間のテスト期間中に収集された平均データに基づくと、NanoFiltechフィルター1枚で以下を達成できます：

NanoFiltechとの比較による追加テストNAFILH14フィルターは、複数のグラスファイバーフィルターブランドでも、さまざまな空気流量条件下で一貫して低い圧力損失を示し、ライフサイクル安定性の向上を示唆しています。

FFUテストは、ナノファイバーろ過技術がクリーンルームの高効率ろ過を維持するだけでなく、圧力損失とシステムエネルギー消費を削減することを示しています。半導体、太陽光発電、その他の高清浄度製造環境では、これにより測定可能な長期的な運用コスト削減につながります。

Tey Jun Yong/Teykiki

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